サイバー改善コンソーシアム

Jun 14, 2023

最近、NWO KICプロジェクト「REGENERATE」がスタートした。 この官民パートナーシップ (PPP) 内で、知識機関と産業パートナーは、コンピューター チップを製造するリソグラフィー マシンなど、信頼性の高いハイテク モーション システムの開発に取り組んでいます。

2023年5月31日、NWO KICプロジェクト「REGENERATE」のキックオフミーティングが開催された。 CWI のマルチスケール ダイナミクス研究グループの Jannis Teunissen は、共同出願人の 1 人です。 この官民パートナーシップの中で、知識機関と産業パートナーは、コンピューター チップの製造に使用されるリソグラフィー マシンなど、信頼性の高いハイテク モーション システムの開発に取り組んでいます。 CWI では、2024 年初めに 1 人の博士課程の学生がこのプログラムに参加する予定です。

Jannis Teunisse: 「このプロジェクトはいくつかの理由でエキサイティングです。多くの新しいコラボレーションが行われること、業界に直接的な影響を与える可能性があること、(望ましくない) 放電と材料劣化の関係についてさらに学ぶ機会となることです。」 REGENERATE の共同申請者は、アイントホーフェン工科大学 (プロジェクトリーダー)、CWI、デルフト工科大学です。 共同出資者は ASML と Tecnotion です。

プログラム名の「REGENERATE」は「Reliable Next Generation Actuation Systems」の略です。 いわゆるリニア電磁アクチュエーターは、ハイテク モーション システムで使用されます。 たとえば、リソグラフィー装置内でナノメートルの精度でウェーハを位置決めできるようになります。 加速と精度に対する要件の増大により、機械的、電磁的、熱的ストレスが増大し、回復不能な故障が発生しています。 したがって、信頼性が大きな懸念事項となっています。 ただし、障害のメカニズムは現時点ではほとんど理解されていません。 この学際的なプロジェクトでは、研究者らは理論モデルと実験測定を組み合わせて、主な故障メカニズムを研究します。 この成果は、パートナーである ASML および Tecnotion の将来のリニア アクチュエータ システムと信頼性を向上させるために使用されます。

グループ写真: 2023 年 5 月 31 日の REGENERATE キックオフ ミーティング。右から 2 人目がヤニス・テウニッセン (CWI)。 プロジェクトリーダーのElena Lomononova教授（TU/e）右から6人目。

ヘッダーの写真: チップ製造用のウェーハ マシンを備えたクリーン ルーム (出典: Shutterstock)。

出典: https://www.nwo.nl/en/news/two-ppp-consortia-will-kick-improving-cyber-physical-systems。